在生产中，对于硅片表面的清洗中常用RCA方法及基于RCA清洗方法的改进，清洗时，一般应在75～85℃条件下清洗、清洗15分钟左右，然后用去离子水冲洗干净。可以很好的清洗硅片上残存的蜡、松香等有机物及一些重金属如金、铜等杂质；

　　亿家人高温空气能热泵可以满足75-85度热水清洗需求，商用和民用热泵技术在国外已相当普及，及其高效、节能、环保、利用可再生资源等众多众所周知的优势在近几年得到了迅速发展。目前市场上的热泵设备主要以低温热泵为主，热泵的输出温度低于55℃，其主要缺点是出水温度低，受到地区性和项目使用特性的限制，使用范围不广，亿家人高温空气源热泵技术在这方面取得了一定的突破，其主要表现在于。

　　1.输出热水温度高：最高输出热水温度为85℃。

　　2.运行费用低：采用高温空气源热泵设备，在20℃环境温度下，产生80℃热水，其费用只是电加热的40%，是燃油（气）的60%；

　　3.采用专用制冷剂，换热效率高并对环境没有污染，绿色环保。

　　4、根据去离子水的要求，热泵可采用专用过流材质防止对原有水质的破坏；

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